二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606620 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種設計用於半導體制造工藝的高性能擴散爐及配件。它具有高達250 fph的最大擴散能力，並配有先進的溫度控制器和用於精確溫度和過程控制的均勻性控制。該爐采用自由基源擴散方法，結合低溫、低成本高效的工藝和較短的晶圓加工時間。TEL ALPHA 303IK具有250 x 600mm的大腔室尺寸，帶有一個大的自動燃氣箱和一個氣動可提升卡帶裝載機。優質的強制熱風冷卻系統提供高效的冷卻，不會再循環熱量，避免熱氣體汙染。控制器提供可重復和穩定的高溫控制。具有配方管理功能的內置流程跟蹤系統存儲和管理多達1000個流程數據項。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K旨在提高生產產量，適合量產需求。它可靠且帶有免維護設計，消除了頻繁的維護程序。該爐效率高，運行速度高達250 fph，大大縮短了工業生產過程的循環時間。氣體箱和晶圓尺寸估計器（WSE）傳感器提供精確的氣體流量控制,減少氣體消耗.此外，內置的自我診斷功能保證了一致的過程結果。TEL ALPHA 303 I K設計為在設備生產中提供最大的靈活性,並通過直觀的7英寸彩色液晶觸摸面板輕松更改過程。多層SSH （Secure Shell）網絡/內存系統存儲和管理多達500種配方,還允許遠程過程監視和數據保留,以備將來檢查。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種易於安裝、低維護的擴散爐及配件。它是半導體制造工藝的理想選擇，以合理的價格提供準確性、可重復性和可靠的性能。