二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606621 待售

ID: 293606621
優質的: 2005
LPCVD Furnace 2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及相關配件,針對各種技術應用中使用的基材。該爐是擴散爐303-Series的一部分,是20世紀80年代日本擴散爐技術發展到現在工業規模廣泛應用的早期實例之一。TEL ALPHA 303IK具有三區石英陶瓷室,能夠達到1,000、1100和1200 °C的溫度,可以精確控制擴散區。它被設計成放置在支架、辦公桌或其他支撐物上,包括一個特殊的通風系統,以便安全地清除腔室中的排放物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K使用單一的鹵素或氙源來加熱材料,雖然其他的加熱源可以通過TEL或其他專門的制造商或供應商獲得。腔室還設有一個八英寸的晶圓管,允許晶圓從腔室快速而精確地轉移到實際擴散區。附加功能包括嵌入式控制器,可以用各種參數和設置進行編程,如溫度、壓力、加熱速率、晶圓大小等等。利用嵌入式控制器,用戶還可以輕松設置定時進程,從而實現腔室的自動化操作。TEL Alpha 303i-K的安全特性包括兩套安全傳感器,用於監測溫度和壓力,如果超過任何安全標準,可以關閉擴散室。此外,真空室包含許多傳感器,包括壓力和溫度,在發生任何危險情況時可再次用於關閉熔爐。總體而言,ALPHA 303 I K是一種可靠且值得信賴的擴散爐,具有各種各樣的特點,非常適合制造和工程過程。仔細的考慮和高效的加熱器系統,以及它的安全特性使得TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K成為工業客戶的理想選擇。
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