二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293606624 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種用於研發應用的擴散爐及配件。是先進半導體加工的熱穩定平臺。該爐工作壓力為300 Torr，最高運行溫度為2000°C。它配備了先進的安全特性，如BN55的磁增強石英窗、氫/氙熱截止閥以及用於溫度檢測的紅外熱成像系統。TEL ALPHA 303IK提供6英寸的標準晶片尺寸和2000 µm的最大晶片厚度。它有一個帶氧化鋁襯裏的石英熱區，能夠容納室內最多三塊石英。該系統允許通過介電加熱器板對晶片進行背面加熱，並具有兩個通道的了。該爐能夠控制多達24個石英。還配備了先進的溫度測控能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的標準處理時間為10分鐘，加熱至給定溫度。該爐可以接受大小和形狀各異的晶片，允許工藝優化。它還包括高效的ICV閥、空氣冷卻系統和加熱探測器。ALPHA 303 I K適用於低溫過程，如氧化物介電生長和接觸形成。它也是高溫過程的理想選擇，例如退火和金屬化。它具有以全自動模式操作的能力,以及通過公司的TEL編程語言上傳定制配方的能力。ALPHA 303IK是用於先進半導體加工應用的可靠、通用的工具。其內置的安全特性確保了安全運行，低維護設計提供了更高的產量和更低的運營成本。其先進的溫度控制和測量能力使其成為任何研發實驗室的理想選擇。