二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293607142 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐和輔助設備，設計用於半導體晶圓和光掩模生產、沈積和蝕刻以及快速熱處理等多種應用。TEL ALPHA 303IK在節能平臺中提供高性能和可靠的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的擴散爐系統由三個電極、兩個陰極和一個陽極支撐。陽極是為爐子提供高場強度的負偏壓源.這兩個陰極能夠產生高達3KW的功率水平，使零件達到如此高的溫度，同時消耗最小的功率。擴散爐是由一個高溫熔爐組成；溫度控制單位；用於讀取爐內溫度的溫度計；在高溫下引入惰性氣體的冷卻塔和空間；熱心軸；電力供應，控制配電。高溫熔爐內襯石英管，確保電流在擴散過程中均勻分布。溫度計裝有溫度探頭，能夠實時準確檢測爐內溫度。冷卻塔和空間允許熔爐在擴散過程後用氮氣和氙氣等惰性氣體冷卻。這是為了在各種條件下維持可靠的操作，盡量減少擴散過程完成後可能發生的氧化。氣泡器、氧氣傳感器、泵、加濕器和抗靜電籠等附件也與Alpha 303i-K兼容。提供了一個特殊的出口，以便在擴散過程後能夠快速可靠地去除水基冷卻劑和抗氧化劑。此外，TEL Alpha 303i-K還配備了警報和緊急關閉功能，確保在任何時候都能安全運行。總體而言，TEL ALPHA 303 I K是一種先進的擴散爐裝置，提供可靠和高性能的運行，同時消耗最小的功率。這臺機器結合了各種特點和配件，是各種應用的絕佳選擇。