二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618106 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 293618106
晶圓大小: 12"
LPCVD Furnaces, 12" Process: MTO Heater type: VMM-56-002 Non-load lock Gases: N2 SiH4 N2O.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐及配件是專門為生產高質量的半導體器件而設計的可靠而先進的解決方案。它是一種先進的加熱系統,具有良好的沈積均勻性、溫度精度和控制能力.303i-K模型包括一個擴散爐、crucibles、絕緣材料、波紋管、真空泵和電子櫃。TEL ALPHA 303IK的擴散爐是一個不銹鋼盒子,一側是陽極,另一側是陰極。它有一個23點加熱元件,這是一個特殊的散熱系統,在任何時候提供突出的均勻性。Crucibles由氧化鋁和石英材料制成,容量為8 "x 8" x 24"。絕緣材料以石墨片和絕緣帶的形式提供,具有良好的隔離和溫度控制。波紋管是一種特殊的真空泵,與絕緣材料配合工作,在操作過程中保持所需的壓力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的電子機櫃由多個元件組成,對爐的運行提供最佳控制。它包括一個具有多個用戶友好顯示器的控制面板,以及用於連接電源的電氣連接器。此外,它還提供了一個手動操作的流量控制系統,用於調節室內的氣體和壓力流動。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK擴散爐及配件是生產優質半導體器件的先進但可靠的解決方案。其特殊的加熱元件具有出色的均勻性、溫度精度和控制性能。它還具有一個方便的電子櫃,高效的真空泵和絕緣材料,出色的隔離和溫度控制。這種擴散爐和配件可靠,經濟高效,提供卓越的效果和一流的性能。
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