二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293618667 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種先進的擴散爐，結合了高工藝性能和全套配件。該爐配備了幾個先進的特點，使其能夠精確控制溫度和工藝參數。該系統非常適合外延、CVD、ALD等先進的半導體處理應用。該爐設有兩個工藝源和兩個獨立的溫度控制區。它還能夠在擴散、批次或單晶圓模式下操作。這兩個源能夠輸送300°C至1200°C的溫度，使其適合各種半導體處理任務。集成加熱室還具有高溫均勻精度。氣體混合微調、壓力和溫度安全監控、自動氣體關閉能力等附加功能進一步提高了系統的安全性。TEL ALPHA 303IK還附帶了許多附件，如離子磨、負載鎖和健壯的自動化封裝。離子磨可用於精確蝕刻晶片。負載鎖定可確保快速啟動過程,並能有效利用過程氣體。自動化包簡化了爐的操作，允許用戶輕松編程和調度配方。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一種先進的擴散爐，結合了高工藝性能、精確度和安全性以及一套堅固的附件。非常適合外延、CVD、ALD等高級半導體處理任務。此外,通過提供過程一致性和效率,離子磨、負載鎖定和自動化軟件包使系統更加方便用戶。