二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293690686 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及配套配件，旨在幫助微電子工業中摻雜半導體的過程。它是一種高效擴散爐，熱預算極低，溫度坡度為200 °C/秒，溫度均勻度為0.1°C或更高。該爐可以同時使用3「和4」晶片，並且能夠在卸載的安普爾中摻雜多達7個晶片模具。TEL ALPHA 303IK具有加固的自動改進石英安培驅動設備,可確保穩定、準確的操作。該爐通過電阻加熱系統進行加熱，並設計了誇脫氮化硼塗層壁，為高溫處理提供了良好的熱穩定性。它通過精心設計的石英擋板和0-100°C/s的溫度坡道的可控組合，具有極好的熱均勻性。安普爾裝有惰性氣體或ArCl2混合物，以確保適當的摻雜。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K使用光熱測法監測爐內溫度，確保整個室內的均勻性。而且它還包括一個帶有圖形界面的觸摸屏液晶控制器，以方便過程優化。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K配備了原位壓力監測儀，以改善摻雜氣體在爐內的均勻分布。它還配有水互鎖單元，以保護爐子免受過大的水壓，從而確保安全運行。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K附有一系列旨在提高晶圓加載精度的配件， 防止晶圓漂移,並使用進口的自動手柄負載端口輕松高效地處理晶圓。總體而言, Alpha 303i-K是一種優良的擴散爐,具有高質量的熱均勻性, 一個寬廣的溫度坡道範圍，以及一個加固的自動改造石英安培驅動機器。它可以為多達七個晶片模具提供準確和高效的摻雜，並配有一系列強大的附件，以支持各種其他工藝。
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