二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #293821540 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種高性能的擴散爐和輔助設備，設計用於設備制造和薄膜沈積。該系統旨在保證氣體供應的均勻流動和產生熱量的均勻分配。通過控制熱的分布和控制其流動，該裝置既能達到高熱擴散速率，又能達到沈積過程。TEL ALPHA 303IK由兩個主要部分組成；擴散爐和輔助機器。擴散爐是一個高溫室，有石英石英襯裏，溫度範圍高達1300攝氏度。它還包括一個石英鐘罐和一個用於樣品裝卸的線杯。輔助工具包括調節氣體流量的質量流控制器（MFC）和控制沈積參數的真空資產。擴散爐配有高精度氣流控制模型，可以用時間、溫度、壓力等各種沈積參數進行編程。MFC的設計是為了調節氣流，優化熱擴散過程和均勻性。真空設備保證了沈積過程中電子運動的均勻性。此外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配有高溫範圍的石英加熱器，以方便擴散和沈積所需的高溫。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK還包括一系列安全功能,例如溫度和氣體泄漏監視器、防止電氣碎片的安全系統,以及發生事故時的自動斷電功能。此外,用戶友好的液晶顯示屏使用戶可以輕松訪問設備的設置和參數。Alpha 303i-K用於器件制造和薄膜沈積應用，適用於半導體、LED等精密工藝。可靠、高效、節能，產生高產、優質成果。該機器圍繞模塊化體系結構進行設計,可輕松集成到現有系統中。