二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #82006 待售
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已售出
ID: 82006
Vertical Nitride Furnace, 12"
OHT Automation
12" SEMI Std – Notch
Wafer Notch Aligner
Carrier Type FOUP: Entegris A300
Buffer capacity: 16 FOUPS
Fork Material: 1+4 Al2O3 Standard
Boat type: (127) slots, 7mm pitch
Boat rotation: installed
Pedestal: Quartz + SiC
System Controller: WAVES
M560A Phase Furnace Temperature Controller
Heater Type: FTP VOS-56-003 4-zone / RT – 1050C
Process Pressure: 190mTorr
2-Boat type operation
Carrier I/D Reader: Asyst RF
Gas Distribution
Fujikin Manual Valve
Fujikin air-operated valves
Mikrolis filter
Kinetics (Unit) Digital MFC
MKS/Asahi Keiki Pressure Transducers
Soft backfill injector installed
Vacuum Exhaust Heated with MKS Heaters
CKD-VEC Vacuum pressure controller
Vacuum Gage – Pressure Controller MKS (Hot) Capacitance Manometer
Main Valve is CKD Combo
Water Cooled Trap
Rapid Cooling Unit
480VAC 3 phase 60 Hz, 250A
120VAC one phase 60Hz, 50A
Power box Top input entrance location
Gas System
N2O 0.5 SLM
N2 (spare) 5SLM
N2 (Spare 5SLM
SiH2Cl2 0.2SLM
NH3 2.2SLM
Pure N2 (130SLM)
N2 Purge Box
Pure N2 –3 1100SLM
Pure N2-4 500SLM
Rapid Cooling Unit
CDA
2007 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐是為單晶片擴散而設計的高性能、專業級爐。它為基板的輸送和加工提供了一個超穩定的平臺。該爐設計用於在小型和大型基板上進行多層蝕刻和沈積，最大晶圓尺寸可達8英寸。TEL ALPHA 303IK的核心是其節能的高溫加熱室，提供高達1400°C的溫度，用於快速熱退火和氧化。它采用直接驅動的高溫石英燈陣列，在晶圓的整個表面提供均勻、一致的熱分布。可調的階梯式溫度剖面可以準確控制整個爐房的溫度梯度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有重型機械機架，具有雙離子體密封，確保高溫下熱和動力學性能均勻。它還配有一套配件，包括機器人元件、自動傳感器陣列、獨立的大氣供應系統和直觀的軟件包，使用戶可以輕松地對自己的設置進行編程。該爐配備了多種先進的安全特性，包括檢測危險溫差的多個溫度探頭，檢測零件汙染可能性的壓力傳感器，以及在緊急情況下停止該爐運行的真空中斷開關。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K與領先的精密潔凈室自動化系統E- Clean™完全集成,非常適合潔凈室環境和傳統的制造環境。Alpha 303i-K旨在為高級擴散過程提供可靠、可重復且經濟高效的解決方案。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K擴散爐以其尖端的設計和先進的安全特性，是單晶圓擴散機械的巔峰之作。
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