二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9250260 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是專門為生產先進半導體而設計的頂級擴散爐。該工藝能夠提供卓越的溫度均勻性、穩定性和工藝結果的可重復性。該爐配有Luminos質量流量控制器（MFC）、氧化物質量流量控制器（OMFC）、熱線源（HWLS）、Chromel/Alumel/Albaloy-1熱電偶和chromel/alumel/Albaloy-1/kapton熱電偶等原位測量系統，能夠對加工條件進行精確控制。TEL ALPHA 303IK的最高溫度範圍為1200 °C。它有一個石英管和一二壓控系統，提供對病毒和灰塵具有抗性的強密封，以保持最大的清潔度，減少雜質引入加工環境。擴散爐配備了三區加熱系統--丙烷區（又稱紅外區）、轉移區和熱線區。在丙烷區，丙烷氣體被用作熱源，以快速將基板提升到目標溫度。然後使用轉移區方便地將基板移入和移出爐子。熱線區利用熱線源確保溫度均勻性。此外，該爐還配備了工藝監測器（PM-1）系統，為擴散過程的參數提供有價值的實時反饋。這使操作員能夠在擴散過程中準確高效地監測和調整工作溫度、氣流和設備性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還提供低粒子擴散性能、精確的溫度控制以及先進的用戶界面。這提供了一種快速而簡單的方法來設置每個基板或清潔/蝕刻任務的擴散參數。總體而言，ALPHA 303IK擴散爐是一種高效可靠的儀器，旨在生產具有卓越性價比的高質量晶片。它是半導體器件批量生產的理想解決方案，是現代集成電路制造中必不可少的工具。