二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9273546 待售
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ID: 9273546
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnace, 12"
MFC (N2, NH3, SiH2Cl2, N2O, SiH4)
L/L type
Heater: VOS-56-003
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種晶圓擴散爐及配套配件,旨在打造高品質的外延層。該303i-K還配有一個廣泛的控制程序包,允許在增長過程中完全定制擴散參數以及監測、數據記錄和微調的能力。該303i-K包括高性能石英水平管的出色的熱均勻性,以確保高質量的epi層。堅固的設計使其具有很高的彈性和耐用性,而現代的加熱元件,用高科技合金構成,提供了一個優越的抵抗熱沖擊和氧化。它還具有對內部環境的精確控制,從而在擴散過程中實現精確的溫度、氣流和壓力分析。該304i-K為電動物料裝卸系統以及自動化過程提供了便利,減少了人工時間和人為錯誤。此外,石英管內的溫度監測確保了精確的晶圓溫度控制,使用戶能夠獲得最佳的材料性能。自動控制系統連接到304i-K的氣體控制單元(GCU),該單元負責監督擴散蒸氣向石英管的自動流動。該304i-K附帶了一套完全可調的軟件選項,允許用戶修改其擴散過程的參數。304i-K的加熱輪廓也是用戶可定制的。該304i-K是半導體鑄造廠生產高質量微電子器件和優化其擴散過程重復性的重要工具。304i-K是微電子行業不可或缺的設備,為用戶提供了更好的效率和質量控制。
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