二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274259 待售
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ID: 9274259
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Diffusion furnace, 12"
POLY
VMM-56-002
GFC (SiH4 ,0.1%PH3 / N2, CiF3)
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐設備及其相關配件,為高效制造各種電子元件而設計。該爐及其相關部件是任何一家生產半導體技術的公司的主食。這種擴散爐是一種負載鎖式爐,其溫度範圍高達900 °C,均勻度± 50 °C。該爐包括一個可調的兩口真空泵系統,配有廣泛的安全互鎖裝置以及關鍵的真空部件,以確保安全可靠的操作環境。該擴散爐還擁有一臺先進的遠程監測機,具有高速數據記錄,用於精確的過程控制。除了擴散爐外,TEL ALPHA 303IK工具還包括許多不同的配件。其中包括一個晶片盒式磁帶、兩晶片機器人臂和用於儀表保護的低水平散熱片,以確保平穩、安全的操作。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K甚至包括一個加熱器蓋和加熱器底座,通過它可以精確控制空氣和氧氣,以便精確監控晶圓和零件加工。這個擴散爐的另一個特點是它的手動盒式磁帶盒,可以容納多達32個6「晶圓或一百八十四」晶圓。這款卡帶也可以在沒有載具甚至機器人臂的情況下操作,讓初學者快速學習其簡單的一鍵操作資產。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還包括兩條氣線,一個氣缸機架和一個可選的氣缸機架電動機,可用於單個晶圓定位,以進行精確的溫度跟蹤和監控。總之,Alpha 303i-K為制造眾多電子元件提供了一個高效可靠的模型。其可調零件的範圍、高溫範圍和精確的遠程監控設備使其成為任何一家從事半導體技術業務的公司的寶貴設備。
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