二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9274260 待售
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ID: 9274260
晶圓大小: 12"
優質的: 2003
Diffusion furnace, 12"
Process: Poly
GFC (SiH4, 0.1%PH3 / N2, CIF3)
2003 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐是一種獨一無二的設備,設計用於在中等溫度下產生高質量的擴散和氧化過程。這是一個經濟高效的解決方案,以產生精確的,可重復的擴散與恰到好處的溫度,冷卻速率和殘留氧化。TEL ALPHA 303IK擁有一個最大容量為500克的單層crucible,無論材料如何。它配備了從室溫到1300 °C的高精度溫度控制,以及全方位的配件,以適應大多數材料類型和應用。此外,該爐的設計為提供一個均勻的居住時間完美的半導體工藝。該爐還利用一系列脫蠟程序使擴散過程最大化。該爐具有一套先進的安全功能,包括用於過溫防護的過溫應急開關,以及用於優化安全事項的防塵和外部通風。該單元還具有LED指示燈,當達到目標溫度時,指示燈變為綠色,表示擴散過程已完成。另外,該爐使用特殊的Pyrex室,以確保高水平的絕緣和均勻的加熱。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配備了溫度和冷卻速率的內部冷卻風扇,以及開閉系統的檢修門。它還附有附加配件,如底座、滾筒、加熱器窗口和計時器。這允許用戶自定義系統以更好地滿足他們的需求。總之,來自TEL的TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一種可靠、經濟高效的擴散爐,非常適合在中等溫度下產生精確、可重復的擴散和氧化過程,提供最高質量的擴散結果。
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