二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281995 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是為半導體晶圓加工而設計的尖端擴散爐及相關元件。它結合了陽極氧化鋁管、線性感應加熱元件和先進的電腦化控制，以確保優越的晶圓擴散和退火性能。TEL ALPHA 303IK具有700瓦的感應電源,可提供高達2000 °C的線性感應加熱。它還帶有氣體註入系統，可以精確分配各種化學品。這對於優化各種工藝應用的結果非常重要，包括氮化物氧化和植入。熔爐通過高壓門夾牢固地裝載，確保對晶片施加最大壓力，同時防止汙染。一個自動化的溫度控制系統允許精確和可重復的加熱循環，以及為各種工藝步驟設置多個熱剖面的能力。此外，內置真空系統確保爐膛內溫度和大氣的穩定性。為了方便起見，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K包括晶圓定位器選項，允許將晶圓安全放置到爐中而無需手動裝載。晶片盒式磁帶最多可容納十二個晶片，使其可用於各種應用。除了優越的擴散之外，TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK還可以用於氧化物介電蝕刻、反應性離子蝕刻和熱氧化物氮化物蝕刻。它包括一個可移動的晶圓盒，允許方便運輸和清潔任務。它還具有低溫設置，允許熔爐用於快速冷卻和退火應用。ALPHA 303IK是一種高性能擴散爐，可用於廣泛的半導體晶圓加工應用。它提供了強大而精確的電腦化控制功能，以及晶圓加載的多種選項。它提供可靠、可重復的性能和長期功能,使其成為半導體制造商的可靠且經濟高效的選擇。