二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281997 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種帶有附件的擴散爐，為半導體加工應用提供全面的解決方案。它提供卓越的溫度均勻性、低功耗和最小的內部汙染。它的高級控制和自動化使用戶能夠精確控制參數,使其非常適合復雜的生產過程。TEL ALPHA 303IK具有雙晶片功能,最大晶片直徑為16 mm,加熱表面為25 mm。它利用2.5 kHz He-Ne激光二極管精確測量溫度，能夠將晶片連續加熱至高達1200°C的溫度。它還具有一系列輔助組件，如燈具加熱器/烘幹機、自動晶圓處理機器人、晶圓移動器/旋轉級和層流罩，這些組件可以組合起來提供完整的半導體處理解決方案。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還配備了正常運行時間準備技術，在操作過程中便於設置和生產率監控。直觀的用戶界面和自動配方優化有助於減少編程錯誤並確保一致的高質量結果。基於臭氧的清潔模塊能夠徹底清除晶片表面的汙染，從而防止加工過程中黑色殘留物的堆積。智能熱控制器提供精確的溫度控制和均勻性，讓用戶降低功耗，提高產量。內部部件的設計可提供長期的可靠性,並塗有特殊的耐用材料,以幫助減少維護問題。高性能泵減少采樣時間，並提供氣體快速擴散到系統中。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK內置了防止意外接觸有害氣體的安全措施，通風良好的設計有助於確保安全的工作環境。最後還包括自動解鎖系統，確保機器在沒有適當授權的情況下無法打開。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種先進的擴散爐，配有提供優異的溫度均勻性、低功耗、最小汙染和可靠性能的附件，是半導體加工應用的理想選擇。