二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9281998 待售

ID: 9281998
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12" MTO 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及其附件設備,設計用於制造先進設備。它是一個高效、可靠且功能強大的系統,有助於確保設備生產質量,並具有卓越的鈍化性能。TEL ALPHA 303IK單元帶有一個主擴散爐和一個高拋光室壁,以及它的附件組件。擴散爐以一系列適合各種半導體基板的陶瓷和合金材料為特色,確保所生產的每一個裝置都具有最高的性能水平。該機還具有先進的溫度控制功能,可以準確精確地控制加熱溫度,並確保基板損壞或缺陷最小化。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K工具具有快速除氣的抽氣資產。該模型的主要附件部件是其熔爐機器人,該機器人能夠有效地實現晶圓裝卸過程的自動化。它有一個專門的移動臂,能夠將晶片精確定位到爐中。爐機器人還具有靈活的設計,可以容納任意大小的晶圓,並具有快速的裝卸循環時間。該機器人還能夠進行高精度對準,以獲得最佳的均勻性和屈服。TEL ALPHA 303 I K設備還包括控制氣流的偏振快門系統。該裝置設計用於最佳氧化/還原控制和精確氣體輸送。快門機還有一個反應迅速的調節工具,允許用戶調整快門寬度,以滿足每一個設備制造過程的需求。最後,ALPHA 303IK資產附帶ALTAIR集成軟件模型。該設備采用了一系列專門的軟件算法,可以優化流程窗口,以獲得最高的性能和設備產量。軟件系統還簡化和自動化流程控制功能,並為用戶提供許多有價值的報告和圖形顯示,使他們能夠實時監控其設備制造結果。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一個強大而可靠的設備制造單元,具有主擴散爐及其附件組件。該機器效率高,具有卓越的鈍化性能,而其高級功能和軟件工具簡化並自動化了設備生產過程。
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