二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9282001 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種先進的擴散爐和配件，具有先進的熱處理和增加的工藝範圍。這種擴散爐能夠處理各種材料，如包括矽、​​的底物、、砷化的、氮化的。這個擴散爐還帶有先進的控制，包括坡道和浸泡選項，以及一個可編程的溫度和氣體流動剖面。隨附的配件提供了廣泛的基板，可用尺寸從25毫米到300毫米不等。出入口的綜合大小可提供400至1100ᵒC之間的最高工作溫度範圍。TEL ALPHA 303IK包括過溫警報、金屬汙染檢測和氣流監控等保護功能。它還具有高性能的自動化清潔周期,便於維護。擴散爐采用可調腔室深度和晶圓支撐系統設計，允許整個過程中均勻均勻的溫度分布。擴散爐還配備了自動防溢出裝置和主動冷卻系統，確保了安全和最佳的溫度控制。另外，擴散爐可以被編程為在基質上沈積磷、砷、氮和其他材料，或者進行特定的基質雜交過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的獨特設計使其成為新興納米技術和MEMS產品的高精度工具。集成的先進智能過程控制技術確保了過程結果的重復性和重復性。此外,TEL Alpha 303i-K擴散爐還提供用戶友好的功能,從而減少了手動設置更改所花費的時間和精力。TEL ALPHA 303 I K提供卓越的過程控制,已經過預先測試和認證以符合國際安全標準,並有制造商保修作為後盾。它是尋求優質可靠擴散爐及配件的企業的理想選擇。