二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9297192 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種適用於高溫退火、CVD、雜質擴散等通用工藝應用的擴散爐及配件。該爐具有多種創新特性,具有可靠、高質量的性能.爐膛溫度最高為1000C，加熱和冷卻速率可從10C和1200C/min調節。該腔室由重型石墨材料構成，具有高效的熱電阻率和電阻率。這種腔室結構可確保在整個溫度範圍內最高溫度均勻度為+/-5%。擴散爐還配備了實時溫度控制系統，具有組合控制器和具有獨特自動調諧功能的PID。這樣可以確保精確的溫度控制,並在整個溫度範圍內產生高度均勻的結果。TEL ALPHA 303IK的腔室配有溫度探頭和氣體入口，氣體路徑設計為防止堵塞，並提供優越的氣流均勻性。還有一些特殊的通風孔來減少可能汙染晶片的蒸發汙染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還設有石英旋轉船架和裝載機系統，最大容量為100晶圓。石英架非常適合提供均勻性和熱分布。旋轉架還確保晶片均勻展開以增強均勻性。TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K還設有一個可以從外部加載的大視圖窗口。這非常適合監測過程溫度和手動調節溫度而不打開腔室。爐子還有一個石英基板加熱器，可以獨立控制，允許整個爐子精確加熱。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有精密的工程設計和獨特的特性,為擴散過程提供卓越的質量和性能。用戶友好的界面，結合高效的熱電性能，確保可靠和質量的結果。這是尋求高精度擴散爐系統的任何實驗室或專業機構的理想選擇。