二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381804 待售
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ID: 9381804
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是半導體制造的優質擴散爐及配件。該設備的熱處理溫度可高達1200 °C。采用先進的擴散爐結構，使其具有超長的使用壽命和與生產中大多數材料的一致性。該爐具有最先進的安全裝置、快速加熱電源和先進的排氣系統，共同保證了安全運行和更好的效率。TEL ALPHA 303IK擴散爐設計有三個主要部分，稱為腔室。三室包括預載室、加工室和載荷鎖室。預載室裝有由感應電源、溫度控制器和高真空閥驅動的加熱元件。所有這三個腔室都是隔離、密封的，為執行不同類型的熱處理提供了受控環境。加工室設有無濕室、紅外加熱器、電絕緣和石英管。該腔室用於控制熱過程所需的溫度和環境。負載鎖室提供了必要的轉移室和壓力平衡。如果有運輸要求，這是必要的。為了保證質量和生產標準得到維護，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配備了一套傳感器。這些傳感器包括熱電偶、壓力傳感器、高溫計、溫度控制器和電氣測試儀。利用這些傳感器，操作員能夠通過監測基板表面的所有條件來實現最高的精度和效率。安裝在ALPHA 303IK上的散熱器裝置裝有四個石英燈，能夠精確吸收和傳遞熱量，能量損失最小。這種散熱器確保熱處理的穩定性，在刀具內均勻的溫度曲線和較少的熱循環以減少晶片或基板上的應力。最後,ALPHA 303 I K的設計適合大多數生產場所,因為它具有緊湊而堅固的框架。控制器、煤氣管線和冷卻水線都融入了主體。這種類型的構造還減少了執行設置所需的時間,同時也降低了總體成本。總體而言，Alpha 303i-K是用於半導體生產的高質量、高效的擴散爐和配件。這臺多功能機組配備了最先進的安全裝置、快速供熱電源和先進的排氣資產。它設計有一套三個腔室，可以安全轉移，溫度和壓力控制。最後，該型號具有獨特的散熱器設備，結構緊湊，便於在任何生產現場安裝。
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