二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381807 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐是一種最先進的熱處理系統，能夠對各種半導體材料進行精確的熱處理。該系統設計為能夠在可控的熱環境中對基板進行高溫退火。該303i-K擁有分布均勻的加熱區域和易於操作的面板,可為用戶提供多種工藝選擇和溫度,最高可達1200 °C。擴散爐可容納兩英寸到五英寸的晶圓，並且能夠垂直加熱，這一過程由於改進的熱流模式而產生更好和更一致的結果，垂直加熱也有助於保護基板表面不受氧化。機器的互鎖前門確保在使用過程中完全安全，並確保爐子在進入前適當冷卻。此外，303i-K提供快速的冷卻時間，並可以用蓋快門，這有助於減少表面的氧化密封。各種附件可用於補充TEL ALPHA 303IK的操作，包括爐板、線圈、限位開關和溫度監測電纜。可以選擇多種元素，以方便所需的溫度設置、脈沖循環和室內的均勻溫度分布。303i-K的高級動力學控制（Advanced Kinetics Control，AKC+）軟件也有助於精確控制每個參數，準確跟蹤過程結果。這允許用戶微調流程以獲得最佳性能和最大吞吐量。另外，該機還具有兩個用於測試晶圓電阻的原位電觸點，可用於直接評估熔爐的工藝結果。總而言之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K提供可靠、精確的熱處理能力、用戶友好的設計、高溫加熱以及多種材料基材尺寸。結合精選功能齊全的配件和軟件，303i-K是各種高科技應用的理想擴散爐。