二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381809 待售
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ID: 9381809
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種最先進的擴散爐，是進行半導體研發的人的理想工具。該裝置的特點是石墨敏感器被石英室包圍，具有獨特的氣體分配系統。這個腔室被固定在鋁制外殼內的一個強烈的PID（可編程接口裝置）控制級，可以進行精確的溫度控制。這使使用者能夠準確且重複進行材料氧化和擴散等過程。TEL ALPHA 303IK具有三個密封加熱元件,利用雙壁石英管以及強大的渦流發生器和冷卻系統。這樣就可以在1,500 °C的溫度下進行嚴格的溫度控制,並實現均勻的氣體覆蓋,從而獲得更加一致和可靠的結果。此外，可以用不同材料制成的磁感器代替磁感器，以擴大可用工藝的多樣性，如陽極氧化、共晶技術、SiC氣相沈積等半導體工藝。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K包括等離子體控制單元、氣流控制器、傳感器單元、樣品熱/冷控制器和緊急關閉系統等其他組件。這樣可以確保安全並防止損壞設備或樣品。此外,爐子的內置PC在創建後可用於節省多達128個程序,從而使用戶能夠輕松高效地訪問其測試參數。ALPHA 303 I K是半導體工業中廣泛應用的理想選擇。它的特點使其成為一種強大的工具,可實現高產率的復雜、高性能的設備,如高密度晶體管、內存芯片和需要極高精度的處理器。這導致了更高的器件性能，並強化了TEL ALPHA 303 I K作為目前市場上最可靠、最精確的擴散爐之一的聲譽。
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