二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381810 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是專門為快速熱處理（RTP）而設計的擴散爐及附件組合。這個定制的解決方案包括溫度控制設備、負載鎖定系統和頂部加載過程室。它是高度可靠的，具有先進的精度和穩定性，允許用戶在他們的RTP過程中達到優越的統一性和最佳的結果。TEL ALPHA 303IK的溫度控制單元由一個大的彩色觸摸屏界面組成，可以方便直觀地操作爐子的加熱和冷卻循環。該機可編程為300-1200 °C運行，可調坡道速率高達200 °C/min。該控制工具還利用PID算法進行快速溫度調節，從而實現了更高的精度和可重復性。此外,TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的溫度範圍是為低壓操作而設計的,可最大程度地降低過程中表面質量的下降。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK的載荷鎖定資產旨在提供基板快速高效的載荷進入腔室，而無需冷卻和加熱模型。這確保了用戶可以在保持一致溫度狀態的同時最小化熱循環時間，從而防止對復雜工藝模塊和不穩定基板的潛在損害。這種設備的另一個好處是，它能夠快速互換零件，進一步減少周期時間和維護成本。ALPHA 303 I K的頂載式處理室是專為RTP而設計。該系統精度高，均勻度約為2至5°C/區，每次都可重復可靠的結果。該腔室還設計為減少冷卻時間，允許更快的周轉測試運行之間。此外，腔室尺寸是可定制的，允許任何表面積用相同的曝光處理。ALPHA 303IK是一個完美的RTP單元,它為您的熱處理需求提供了精確度、速度和可擴展性的最佳組合。憑借先進的溫度控制機、負載鎖定工具和頂部加載過程室，這一資產對於在各種熱過程中取得優異的效果至關重要。