二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381817 待售
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ID: 9381817
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: Pure N2, SiH4, N2O
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及其相關配件，設計用於半導體器件制造及相關行業的各種應用。它是為基板的精確和高效熱處理而設計的工具。TEL ALPHA 303IK有一個直徑12英寸、高度8英寸的大型加熱室，允許大量基板同時處理。該設備通過間接石英燈加熱，以提高波長的均勻性並改進人體工程學。爐頂板由線性級操作，允許精確的運動控制和精確的晶圓定位。底板由電動四軸級操作，使加熱室溫度得以精確調整。該系統配備了基於Lucent Technologies Guardian以太網的高級自動化控制器,可實現遠程和放手操作。控制器還具有直觀的圖形用戶界面,可提供簡化的監控和過程控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K利用加熱的感受器在高達1200攝氏度的溫度下進行加工，並具有自動傾斜功能，能夠在保持均勻底物溫度的同時進行旋轉運動。為了便於冷卻操作，爐子有一個氦氣強制冷卻單元，在加工完成後迅速冷卻腔室。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配備了高密度的堿液蒸發器，以提供優越的均勻膜沈積。該機還與各種先進的氧化物去除工藝兼容，以提高介電性能。該儀器包括一個真空化學氣相沈積工具，能夠沈積具有均勻特性的金屬薄膜以提高產量。所有這些組件都與基於命令的軟件打包在一起,以便於自動化和集成到客戶系統中。總體而言，ALPHA 303IK是晶圓加工和金屬沈積的完整工具，非常適合半導體器件制造和其他與電子相關的行業。這種資產可以提供準確、高效和可靠的熱和化學加工，以獲得更高的產量。
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