二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381821 待售

ID: 9381821
晶圓大小: 12"
優質的: 2004
Furnace, 12" MTO Heater type: VMM-56-002 Gas: Pure N2, SiH4, N2O 2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種高精度擴散爐及相關配件,為可靠準確的生產而設計。該303i-K采用先進的三區管狀爐設計和定制的集成波紋管,以創建一個統一的溫度輪廓,以優化過程控制。這種卓越的工程和現代特性的結合使得303i-K非常適合廣泛的應用要求。TEL ALPHA 303IK的高級工程提供了多種令人印象深刻的功能,可優化過程控制和熱性能。它具有高效的陶瓷加熱元件結構,能提供出色的隔熱性能。這種設計減少了熱量損失,並允許有效的熱控制。此外,集成的不銹鋼波紋管可確保整個爐膛的溫度分布均勻。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的先進設計提供了卓越的工藝穩定性和一致性。基於微處理器的集成控制設備可確保擴散過程中所有點的精確溫度。其集成的空氣冷卻系統能夠從熱沖擊中快速恢復,這有助於最大程度地減少過程停機時間。控制單元還提供重要的過程自動化和數據存儲能力。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK包括一系列精密配件,以確保最高的效率和精確度。定制的負載鎖、工藝室和工藝支持系統可用於滿足特定的應用程序要求。標準配件包括熱控制器、質量流量控制器、采樣器、氦氣泄漏探測器和安全系統。為了維護和維修,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的設計考慮到了方便訪問。爐膛便於檢查,模塊化加工室便於快速和簡單的修理。智能控制機提供詳細的診斷,並協助故障排除和維護過程。總體而言,Alpha 303i-K是一種最先進的擴散爐和附件包裝,設計用於精確和可靠的制造操作。ALPHA 303 I K憑借其先進的設計、集成的控制和精密的配件,是各種工藝應用的完美解決方案。
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