二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381826 待售
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ID: 9381826
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnace, 12"
MTO
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4 / N2O
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K擴散爐是一種用於高質量、精密晶圓制造的工具。它是一種多區爐，具有先進的晶圓轉移和塗層設備。它由兩個腔室組成：熱區和冷區.加熱區是進行升華和蝕刻過程的地方；冷卻區是晶圓冷卻並形成氧化層的地方。先進的晶圓傳輸系統允許對每個過程的擴散參數進行精確和可重復的控制。TEL ALPHA 303IK具有高效的加熱單元，熱區由紅外燈實現。該燈位於石英管內，允許用戶設置受控溫度範圍。該燈發出可見光和紅外輻射，在工藝室內被矽片有效吸收。該機還通過分別控制每個區域的加熱速率和冷卻速率來提供對熱剖面的精確控制。此外，先進的兩區溫度控制（TZTC）功能允許精確控制熱區和冷卻區的溫度，提供室內均勻精確的擴散速率。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K也能夠進行高度精確的蝕刻和升華過程。其先進的塗層工具允許薄膜和層的精確沈積，以及硝化和蝕刻過程。集成的沈積頭可以處理各種晶圓尺寸，從200毫米到300毫米不等，以及不同的厚度。集成的石英室在加工過程中提供清潔的環境。資產還配備了幾種安全功能，既保護用戶又保護型號。其中包括允許用戶從外部監視所有擴散參數的液晶顯示屏，以及在緊急情況下可以快速關閉設備的緊急停止按鈕。TEL Alpha 303i-K擴散爐是晶圓加工的一種先進、精密的工具.它采用了高效加熱系統、兩區溫度控制和集成石英室等先進技術。這允許精確的沈積和蝕刻過程，以及氮化和升華過程。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK具有先進的功能,能夠提供高質量、精確的晶圓制造,是任何開發和生產實驗室的絕佳選擇。
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