二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381848 待售
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ID: 9381848
晶圓大小: 12"
優質的: 2006
Furnace, 12"
Process: SiGe Poly
Heater type: VMM-56-002
Gases:
SiH4
10%GeH4/H2
1%BCl3/N2
ClF3
2006 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是為工業和實驗室市場的廣泛應用而設計的高端擴散爐。擴散爐是一種用途廣泛的設備，旨在高效、可靠、安全地加工半導體晶片。TEL ALPHA 303IK具有由多個腔室組成的高級晶片處理系統,允許多個進程步驟單獨或同時運行。該機組擁有先進的3區加熱機，使用高功率、多級晶閘管電源，獨立加熱腔室。晶圓載體是一個加熱平臺，機械耦合到加工室，使得晶圓加工過程中溫度曲線一致。該工藝室設計有一個直接輻射管，能夠達到高達1200 °C的溫度進行擴散或氧化過程。密封工藝室還設計用於低顆粒計數，使其成為各種需要清潔、無汙染環境的應用的理想選擇。此外，腔室設有先進的冷卻工具，允許過程腔室快速冷卻，並使腔室快速恢復到預先編程的環境溫度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K能夠維持高達一個大氣層的壓力，並持續監測資產的大氣純度，以及過程室的壓力。此外，使用者能夠控制製程室的氧氣濃度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K設計具有廣泛的用戶友好功能,如進程運行的記錄保存、多晶圓尺寸的可編程性和配方存儲功能。它還配備了高級安全功能,如果工藝參數超出其預先編程的限制,模型將自動關閉。總體而言，Alpha 303i-K是適合各種工業和實驗室應用的理想擴散爐，提供先進的晶圓加工能力和增強的用戶友好性。這種設備將提供非常準確和可靠的結果，使晶片的處理效率很高。
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