二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381855 待售
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ID: 9381855
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Furnace, 12"
Process: D-Poly
Heater type: VMM-56-002
Gas: SiH4, 0.1%PH3/N2, ClF3
FUJIKIN Air valve
STEC: MFC, MFM
Load lock
Missing parts:
(2) Hard Disk Drives (HDD)
Quartz wares
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種最先進的擴散爐,其附件旨在在開發和生產環境中提供可靠、準確的過程控制和靈活的使用。TEL ALPHA 303IK非常適合在半導體工業中的應用，如薄膜的沈積、退火和擴散。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K配備了精確準確的過程控制器，允許在整個過程中有更大的控制和一致性。該爐采用內部反饋系統和先進的控制技術來維持熱量需求，即使在快速變化過程中也能保持均勻的溫度條件。這確保了每個流程的高質量輸出。Alpha 303i-K專為實驗室和工業應用而設計。它是一種用戶友好的擴散爐，具有計算機控制的功率調節加熱系統，用於精確可靠的處理。這樣就可以配置整個加工區的均勻加熱，即使樣本量很大。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K配有附件，包括氮氣凈化裝置、樣品架、大容量石英船和陶瓷噴嘴，用於精確和可重復的噴射傳送。氮氣凈化裝置有助於降低要求苛刻的過程所需的氧氣含量，陶瓷噴嘴和石英船相結合，以確保工藝氣氛均勻。TEL ALPHA 303 I K還兼容直徑達200 mm的SEMI Standard晶片和其他樣品尺寸，允許最大限度的使用靈活性。它還提供了方便的裝卸區域，以減少系統設置和運行過程中的勞力。總之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一種高性能的擴散爐，其附件在開發和工業應用中都具有精確度和準確性。它提供出色的控制和用戶友好操作,以及一系列令人印象深刻的附件和設置,以確保過程的一致性和可靠的輸出。
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