二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381862 待售
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ID: 9381862
晶圓大小: 12"
優質的: 2005
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2005 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及配件，用於生產微電子工業中的多晶矽晶片。該單元的設計允許快速熱處理和快速冷卻，使其適合廣泛的應用。它有一個裝在耐用鋼制外殼中的大腔室和有助於減少熱損耗的高效空氣擋板設備。大腔室能容納多達1000個晶圓。TEL ALPHA 303IK有幾個不同的區域和電極，每個區域和電極被設計成在加熱和冷卻過程中發揮特定的作用。這包括一個可以在攝氏250-1600度範圍內調節溫度的加熱區。還包括一個可調從0-125攝氏度的冷卻區，使已經加熱的晶片能夠快速冷卻。熱區以離子束槍為特色，能夠精確控制溫度和離子，導致晶圓上離子分布均勻。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有耐用的不銹鋼外觀和真空密封單元，適合在潔凈室環境中使用。它還設有先進的安全系統，監控和調節爐溫和壓力，防止過熱，有助於延長機組壽命，提高產品質量。控制單元還包括一個液晶顯示器，允許用戶監控機器中的溫度和壓力。除了熱處理能力外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還附有幾個配件，可以幫助優化工藝。其中包括離子源、隔離屏蔽和遙控器，所有這些都有助於提高工藝的準確性和減少工具中的汙染。總體而言，Alpha 303i-K擴散爐及其配件是一種先進的熱處理設備，適用於一系列的應用。其特點和附件使其成為生產優質多晶矽晶片、減少汙染和最大化效率的可靠工具。
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