二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9381863 待售
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ID: 9381863
晶圓大小: 12"
優質的: 2009
Furnace, 12"
Process: DCS-HTO
Heater type: VOS-56-003
Gas: NH3 / SiH2Cl2 / N2O / SiH4
2009 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐和附件,其設計目的是提供最高的溫度精度和均勻性。這種獨特的設備是業界領先的擴散爐溶液,具有先進的嵌入式控制技術(AEC),用於控制熱通量、對流、溫度分布等。TEL ALPHA 303IK采用三區雙高壓強制對流熱板設計,具有良好的溫度均勻性和高精度溫度控制,可用於生產和研究。強制對流配置可確保在從室溫到1050°C的廣泛溫度範圍內進行受控、均勻的熱處理。該爐配備了功率中斷保護、步長± 1°C的高精度溫度調節、可調節溫度範圍高達1400°C的內置高溫計、先進的AEC系統等多種特點,提供卓越的工藝穩定性和產品均勻性。AEC單元允許在設定點溫度下進行精確的溫度控制,在單個區域環境中具有出色的溫度均勻性和熱通量。通過直觀的控制面板,您可以快速調整多個用戶應用程序的流程參數,從而完善了計算機。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還提供了一種高度精確的氣體輸送工具,以確保氮氣和混合氣體過程的近距離公差。這與強大的安全和警報功能相結合,提供了高度的過程控制和操作員安全以及廣泛的擴散過程。該單位可作為個人購買或作為綜合擴散資產使用。集成封裝包括TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K、單區或多區控制器、隔熱室以及惰性氣體、反應物和保護性氣體的供應線,以及用於高效熱處理的石英組件,以及實時操作員監督的監控和分析。總之,Alpha 303i-K是一種先進的擴散爐及其附件,具有廣泛的特點,以滿足各種溫度敏感應用的需要。其先進的AEC模型、溫度均勻性和精確的過程控制使其成為任何需要可靠和高效溫度處理的實驗室的理想選擇。
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