二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9390670 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 是一種擴散爐及相關配件，可提供高達3°C的溫度均勻性、可重復性和穩定性，同時允許用戶保持高達1,000 °C的最高爐溫。該設備提供多種材料的高溫擴散沈積和加工，如多晶矽、鎢、矽化物和沈積高溫介電（HTD）膜。該裝置設計有一個減少化學物質汙染的防汙染空氣管理設備。TEL ALPHA 303IK提供了廣泛的特性和功能,包括晶圓級熱均勻性反饋,該反饋能夠自動控制± 3°C內的溫度。以及高達10%傳熱效率的搪瓷電纜、先進的電氣控制系統以及廣泛的保護性聯鎖裝置，以確保安全可靠的操作。擴散爐還提供高溫石英船，最多可容納五個6英寸晶圓和優化的單元控制效能。該裝置還包括獨特的噴嘴設計，其規格和特點經過優化，可用於更高的熱量提取，並提高了均勻性、可重復性和穩定性。擴散室被封閉在一個DLC塗層中，該塗層提供了一種保護性的耐化學性和增加的隔熱性能，以確保一致的晶片對晶片的均勻性。為進一步保證機組的堅固性和耐用性，爐體采用雙壁絕緣機設計。該單元還提供了一個易於使用的交互式圖形用戶界面（GUI）,允許用戶從遠程PC或手持設備訪問、監視或控制該工具。通過傳感蓋，該單元還提供實時爐大氣控制、監測和報告。此外,該資產能夠在單個軟件包中提供溫度記錄和溫度控制,並且所有模型參數都可以存儲在內部內存中,以便進行召回、參考和比較。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一種高度先進的高溫擴散爐，使用戶能夠方便準確地快速加工材料，汙染風險最小。此外，設備還配備了便於自動控制的功能，並為用戶提供了廣泛的功能和功能。因此，該單元適合在廣泛的行業中處理廣泛的材料，如半導體、太陽能電池、平板顯示器、LED和其他光電元件。