二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394521 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是為精確晶圓和基板制造而設計的擴散爐及配件系統。適用於廣泛的任務，包括退火、氧化、硼摻雜、金屬合金等。具有多種功能的先進自動控制系統，保證了頂層精度和可重復性。TEL ALPHA 303IK配備了高性能電源和先進的溫度控制模塊，以確保精確的溫度控制。爐的溫度範圍從室溫到1100 °C，在± 1 °C時具有最高的溫度穩定性。通過精確的PID自動溫度控制來確保溫度控制。該單元有一個可選的晶圓傳輸模塊，可用於工藝和冷卻階段之間的快速基板交換。快速晶圓交換使晶圓在轉移過程中的損傷最小化，提高了整體生產效率。該機組還配備了安全功能，如過溫報警、自動吹氣功能、過程監控系統等。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K提供了先進的過程控制功能，例如用於精確溫度控制的多位置控制電路。可編程輸入/輸出界面允許用戶嚴格控制配方、溫度、壓力和時間等過程參數。此外還具有自動壓力控制功能，使源氣利用率最大化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K采用物理氣相沈積工藝，以確保可重復和保形膜沈積。該腔室設計用於均勻地分布源氣體，並在基板上產生高度均勻性。這樣可以確保基板均勻塗覆,並達到所需的深度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一種可靠高效的設備，適合廣泛的行業使用，如半導體制造、光伏模塊、MEMS制造。適用於中低層次的制造需求，提供世界級的精度、穩定性和可重復性。