二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394526 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及附件封裝設備，用於將多種半導體材料沈積在晶圓等基板上。它是一種先進的數字控制垂直爐系統，支持多循環工藝配方編程。該單元非常適合高精度擴散和/或摻雜應用任務。TEL ALPHA 303IK采用垂直輪廓設計,可達到高達1100 °C的最高溫度,整個工作區域的溫度穩定性和均勻性±為1 °C。這是通過對爐內大氣分布的精確電控制來保證的。在安全性方面，TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K設有三重消音室，以防止潛在的氧化或汙染。此外，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK以高通量運行，能夠處理多達15個晶圓的批次，每個多循環配方最多32個晶圓。它還能夠與選擇的氣體一起操作，允許根據需要與N2、Ar、H2、O2等摻雜。該機真空循環為-7 torr，泄漏速率特性小於1 x 10^-7 pa，TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K還包括多個輔助擴散過程的配件。其中包括等離子體發生器、石英烤箱、顆粒過濾器和安全過濾器。該工具經認證符合SEMI3、S2和ESD安全標準。此外,TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的功耗約為13kW,占地面積為78.7 x 80.3英寸（2 x 2.04米）。總體而言，TEL Alpha 303i-K是一種先進的數字控制垂直爐資產，為擴散和/或摻雜應用任務提供卓越的性能。配備了一系列配件，並經過認證，符合嚴格的安全標準。此模型非常適合那些尋求可靠、高性能解決方案以滿足其擴散需求的用戶。