二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394982 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種高性能的擴散爐及配套配件。它設計用於工業應用，如金屬硬化、半導體制造和太陽能電池生產。其結構由一個用於加熱真空的隔離室和一個容納擴散爐及附件的框架組成。腔室由不銹鋼製成，提供高熱穩定性。其內部容積最多可容納八個晶圓。TEL ALPHA 303IK配備了SmartAligner 2.0系統，該系統使用介電濾波器輕松將浸入式透鏡對準晶圓。它還具有先進的光學元件,以提高圖像質量。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的擴散爐有一個雙源升華加熱器，能夠進行一定範圍的溫度控制，從室溫到600 °C。二次加熱元件在低溫下工作時提供額外的靈活性。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K配備了多種配件，包括真空泵和隔熱裝置，以提高基板的均勻性。它還具有一個渦輪泵快速撤離腔室和一個熱電偶用於測量腔室內的溫度。此外，ALPHA 303 I K包含用於管理過程參數，如溫度和氣流，以及用於控制晶圓負載的集成軟件。建議使用該軟件分析工藝結果，優化設備運行。Alpha 303i-K是一種可靠、高效的擴散爐及配件，適用於一系列工業應用。它具有隔離腔室和先進的光學元件，以提供精確的溫度控制，而其集成軟件提供更大的控制和工藝優化。