二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394986 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種擴散爐及附件。該擴散爐采用獨特的雙口袋設計，有助於優化原位源氣體循環，在擴散過程中提高了源效率和良好的均勻性。它有一個熱壁裝載室，中間有一個單獨的熱區，允許單向向內源氣流經源入口。這反過來又形成了一個有效的流動模式，增加了均勻性以獲得更好的工藝結果。TEL ALPHA 303IK的雙口袋設計也最大限度地減少了源袋和腔室其余部分之間的熱梯度，以最大程度地減少靜壓波動，並使氧化鋁和鋁摻雜劑的沈積更加穩定。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K還具有易於使用的可編程控制器。該控制器最多可實現四步可編程中子通量調制。因此，它可以快速響應源活動的變化，同時在整個晶片上保持均勻的源濃度。控制器還允許以± 2°C的精度控制高達4個區域的溫度,確保在擴散過程中精確保持溫度。該擴散爐設計為節能，采用三熱級熱處理方法逐步回收預熱溫度，允許用戶將回收時間從0分鐘調整到40分鐘。它還具有一個內置的自動回收功能，可以監視各種操作參數並自動將爐子恢復到指定的啟動狀態。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK配合了一系列安全特性，以確保操作時的最高安全標準。它配備了腔室泄漏檢測開關、熱電偶破損監控、輻射防護裝置、互鎖安全系統和緊急關閉系統，都有助於保證可靠運行。此外，還安裝了入口過濾器，以阻止顆粒和其他汙染物進入室內並破壞擴散過程。總之，TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK是一種具有顯著可靠性和高能效的擴散爐及其附件，旨在保證穩定運行和最佳效率。其原位源氣體循環、通量調制可編程控制器、節能熱處理、綜合安全特性等都使其適合微電子擴散。