二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394987 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種用於半導體制造業的擴散爐及其配件。TEL ALPHA 303IK是一種高效、低維護和高性能的擴散過程解決方案。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K利用線性噴嘴加熱設備，確保整個晶圓的溫度分布均勻。由於其精確的溫度控制,它也提供了極好的晶圓均勻性.該系統配備了高溫石英加熱器，保證了一貫的最佳熱條件。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK利用了專有的數字加熱單元,該單元結合了創新功能以實現均勻的熱傳遞、改進的過程控制和最高的可靠性。該機具有獨立的溫度層次控制、脈沖加熱控制、局部熱循環補償等特點，具有最佳溫度性能。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K提供了許多額外的優勢，例如用於精確和恒定氣體流動的氣體分配板、用於設置適當氣體管線壓力的可調氣體流板、減少非臨界熱量周期以及精密的測量功能。此外，該工具最多有15個加熱級，可以分配給不同的溫度範圍。TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK旨在提供高度精確的過程結果並確保可重復的過程控制。溫度範圍從200-1100攝氏度不等，溫度均勻性異常高。此外,其高級控制器還具有簡潔直觀的用戶界面。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的擴散配件也提供了最佳工藝質量的最佳條件。這些附件的特點是使用熱電偶控制排氣管線溫度的主動排氣組件、氣隙排氣阻尼器和排氣供應控制，以確保正確的排氣流量。它還提供自動清潔和熔爐維護功能,以及嵌入式記錄和報告功能。綜上所述，ALPHA 303IK是一種優越的擴散爐及其附件。其特點提供了卓越的溫度控制、高均勻性、出色的工藝穩定性以及高效的排氣維護能力。所有這些功能保證了最高級別的工藝質量和生產率。