二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9394990 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是一種精確可靠的單晶圓擴散爐及附件設備，用於半導體制造過程。具體而言，該303i-K可用於各種材料的退火、摻雜劑擴散和結晶過程（例如矽片、砷化氙片等）。該爐采用紅外加熱系統，產生高精度和均勻的溫度計，從而可以縮短熱循環時間。此外,304i-K還具有一個強大而靈活的選項集,允許用戶一次執行多個進程。這包括同時運行多個晶片、自定義溫度曲線,以及根據材料的不同,氧化物或氮化物退火的選項。該303i-K帶有一個獨特的桶裝卸單元，使多個晶片可以同時裝卸。此外，室內溫度穩定快，確保快速循環冷卻和退火過程。機器還有一個監控工具，使工程師能夠觀察晶圓處理步驟，實時檢查工藝條件狀態，以減少晶圓故障，防止工藝汙染。為了確保最大限度的安全，303i-K以清潔的空氣資產運行，從而創造並保持保護氣氛。這在腔室中保持一個可控的清潔水平，也有助於減少晶圓的降解。此外,模型還對其功能進行自我診斷,這有助於操作員在性能問題發生和造成損壞之前確定其性能問題。在規格和性能方面，303i-K具有高達十二英寸晶圓的裝載能力，在100,000-1400°C的溫度範圍內運行。該爐還配備了軟件控件，為用戶提供編程選項，如最大加電、最大降頻、可變熱坡道等，以實現更大的定制。總之，TEL ALPHA 303IK是一種精密的單晶片擴散爐及附件設備，具有多種特點，旨在使退火、摻雜劑擴散、結晶過程安全高效。