二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9402693 待售

TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K
ID: 9402693
晶圓大小: 12"
優質的: 2002
Furnace, 12" Process: Metal Thermal Oxidation (MTO) 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是專門為鎢和濺射氧化膜生長應用而設計的擴散爐。它具有許多先進的特點,非常適合薄膜生長和沈積過程。這個擴散爐裝有極性反向「T」電極,允許精確調整爐與鄰近電極之間的連接點。這消除了電極及其各自電源未對準的潛在問題。TEL ALPHA 303IK擴散爐有一個三區自動熱控制設備,確保整個室內的溫度管理準確。該系統能夠從腔室的3個點保持對溫度的精確控制,並能夠監測內部最高20個點的溫度。這確保了精確的溫度管理,這對於精確的薄膜生長和沈積過程是絕對必要的。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K利用數字PID控制技術進行精確的溫度控制,進一步確保了精度和一致性。爐子還配有不間斷電源(UPS),使得即使在停電後也可以繼續沈積過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK還配備了一個可聽報警裝置,在發生溫度故障或機器故障時向用戶發出警報。此外,該爐還具有記錄溫度、壓力和射頻功耗的數據記錄工具,使用戶可以輕松分析和記錄數據以進行進一步研究。ALPHA 303IK還配備了一些有用的附件和功能,使用戶能夠最大限度地提高其性能。其中包括鉬船和動力提升裝置、石英電流表、氣動閥以及手動和電動百葉窗。所有這些有用的附件使TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K成為研究或工業應用的絕佳選擇。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K是一種可靠高效的擴散爐,非常適合薄膜沈積和其他需要精確溫度管理的工藝。其尖端技術和先進功能確保了高精度和一致性,以及安全可靠的操作。這使得TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK薄膜生長沈積的理想選擇。
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