二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i-K #9411634 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i-K是為各種工業應用而設計的擴散爐，包括半導體器件加工和工業加熱，以及用於研發。TEL ALPHA 303IK是一種堅固、耐用、可靠的擴散爐，配有高性能的加熱和冷卻系統。它包括一個創新的鐘形外部結構，一個均勻的熱輪廓和均勻的停留時間，和一個可選的可編程自動提升機構精確溫度控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K具有精確的溫度控制功能，在所有尺寸的晶圓中高達1100 °C，具有極精確的溫度均勻性。它還提供快速冷卻、自動蓋子位置內存和高級安全功能,以防止在高溫下發生意外的長時間操作。一個可選的「堆叠晶片套件」可用於在一個爐子循環中對一層或兩層中的多個晶片進行均勻熱處理。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303IK先進的加熱和冷卻系統可提供精確、可重復的溫度剖面,以滿足一系列工業需求。功率輸入可調節至10 kW，輸出至晶圓的功率可調節至2 kW。ALPHA 303 I K還有一個內置氣體擴散系統，用於高度精確的幹蝕刻和/或離子植入過程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I K的用戶友好界面和強大的數據分析軟件有助於簡化設置和操作,同時提供強大的功能。該軟件允許用戶快速設置操作，保存經常使用的設置組合並使用標準配方操作，以及同時操作多個熔爐。TEL Alpha 303i-K堅固的結構使其能夠在工業環境中可靠地運行,而其廣泛的安全功能,如滯後驅動的氣體關閉、可調節的高溫保護器和緊急停止按鈕,可提供可靠的保護,防止不受控制的過熱或過壓事件。總體而言，ALPHA 303IK擴散爐為一系列工業應用提供可靠、精確的熱處理。其創新的鐘形外部結構、優越的溫度控制、快速冷卻、廣泛的安全特性、先進的氣體擴散系統、集成的用戶友好界面以及強大的數據分析軟件，使其成為溫度臨界過程的理想選擇。