二手 ULVAC V10-100LC #9350452 待售

ULVAC V10-100LC是一種擴散爐及其附件，用於多種化學過程。它為材料在稱為低壓化學氣相沈積（LPCVD）的過程中擴散提供了精確的低溫環境。這類熔爐主要用於生產材料薄膜，用於半導體工業生產有源和無源部件。V10-100LC具有獨特的設計,利用低真空環境提供-50°C至800°C的溫度範圍和0.1至0.2°C/min的低熱梯度。該系統包括一個先進的數字控制器，能夠精確的溫度，功率，壓力監測和控制。此外，該爐還包括兩個熱電偶，一個用於溫度測量，一個用於壓力測量。ULVAC V10-100LC的獨特設計采用多層石英管，使沈積發生在與系統其他部分物理隔離的低真空環境中。這樣可以確保整個爐子的溫度控制均勻,過程更加一致.另外，該爐采用石英加熱元件、高效保溫材料和經過CAD/CAM優化的鐘形蓋板，提供良好的溫度均勻性。V10-100LC的其他功能包括快速冷卻能力、高發射率以及在工藝周期結束時執行自動關閉的能力。ULVAC V10-100 LC的小占地面積、輕巧、堅固耐用的設計使其成為工業應用的絕佳選擇。此外，系統的設計考慮到了靈活性，可以很容易地適應各種不同的生產過程。V10-100LC是各種材料低溫擴散的一種經濟、通用的解決方案。其低溫操作、高精度控制、緊湊的設計，使其成為半導體工業生產材料薄膜的絕佳選擇和眾多其他應用。