二手 ULVAC V10-100LC #9373107 待售

ULVAC V10-100LC是一種用於半導體制造的擴散爐及其附件。它是一種通常在實驗室中用來將化合物或摻雜劑引入半導體表面以改變其性質的工具。V10-100LC專為低壓化學氣相沈積（LPCVD）工藝而設計。這是一個用氣相反應在材料表面沈積薄膜的過程。ULVAC V10-100LC是一種水平、單晶片隱身擴散爐，可處理大體積均勻性需求。它以計算機控制的精度對溫度和大氣進行精確控制。它還產生高吞吐量、均勻性、極好的可重復性，並且可以在閉環或開環模式下操作，以確保粒子的低生成。V10-100LC的主要部件是裝有晶片的石英船和真空室。它配備了一系列安全特性和溫度敏感元件，以防止任何不必要的熱變化。該系統還包括一個強大的加熱元件和控制器，允許精確的溫度控制與一個理想的均勻性整個腔室。它還具有半自動熱控制功能，可針對壓力、溫度、時間等各種工藝參數進行調節。ULVAC V10-100LC還具有多種高級設計功能。其中包括多點傳感器、實時過程控制、多配方功能以及高級用戶界面,以確保易於使用的環境。V10-100LC設計具有高度的靈活性,以適應各種工藝要求。ULVAC V10-100LC是一個可靠、高效、易於使用的系統,它為摻雜劑在半導體表面上的擴散提供了卓越的性能。它產生了非常精確的結果，為制造半導體器件的廣泛應用提供了出色的均勻性和可重復性。