二手 ULVAC V8-100LC #9350448 待售

ID: 9350448
晶圓大小: 6"
優質的: 2009
Vertical furnaces, 6" Process: Poly-Si (2) Main body Duct unit (2) Doors Control unit Heater Top cover Pump rack 2009 vintage.
ULVAC V8-100LC是由ULVAC, Inc.設計和制造的擴散爐及配件設備,ULVAC, Inc.是先進工藝和材料工程的全球領先者。這是一個理想的系統,可實現稀土合金的最佳集成和其他生產工藝。V8-100LC單元由一個由不銹鋼制成的爐膛組成,並利用浮動式絕緣結構更好地保持整個爐膛的穩定溫度分布以及優異的隔熱性能。此外,一臺平行的雙獵槍式加熱機允許在整個腔室內有非凡的加熱速度和均勻性,允許快速和均勻的擴散退火。腔室內部還包括用於擴散過程的最佳氣流結構。該工具配有隔熱罩和由集成控制器和軟件組成的控制面板。可配置的參數可以準確控制爐子和擴散過程的溫度、壓力和流量。通過集成的計算機和軟件資產可以實現更精確的控制,從而實現復雜和復雜的流程管理。該型號配備了一個專有的裝載設備,用於安全地將材料引入和移出爐膛。裝載系統還有助於機組在裝載後保持安全的壓力。還包括一臺自動安全機器,用於應對緊急情況,包括滅火和過溫保護等功能,確保操作員能夠安全安全地工作。該工具還包括各種可選功能以實現可自定義。這包括用於不同爐子的可選燃燒器資產、強大的冷卻風扇以及可選的濺射和摻雜模型。設備的高級自動化功能進一步有助於倉儲和裝載所需材料。ULVAC V8-100LC系統為工業和研究用途的材料擴散退火提供了一個出色的解決方案。憑借其強大的設計和先進的自動化技術,這個單元允許高效和精確的擴散退火過程,使其成為一系列生產和研究程序的完美選擇。
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