二手 ULVAC V8-100LC #9373098 待售
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ID: 9373098
晶圓大小: 6"
優質的: 2001
Vertical furnace, 6"
Process: D-Poly
Gases: N2, SiH4, Ph3, ClF3
Temperature: 800°C
Pressure: 130 Pa
Speed: 100 mm/min
(120) Wafer sheets
2001 vintage.
ULVAC V8-100LC是一種通用的擴散爐及輔助設備,專為半導體行業的專業退火、擴散和焊接應用而設計。這種擴散爐和輔助系統包括一個8英寸的ID爐和一個100毫米直徑的鈣化管,以及溫度測量,溫度控制和隔熱系統。這個特定單元的特點包括一個自動流量控制機制,它允許操作員根據爐中反應桶的溫度變化自動調整電離氣體流量。該爐機還具有數字PID溫度控制器,可優化溫度控制和工藝參數的精確調節,可重復性和準確性。此外,這種擴散爐采用各種絕緣和高真空壓榨技術,在擴散或退火材料時提供最大效率。在安全性方面,V8-100LC擴散爐采用自動緊急關閉工具,在溫度過高或超壓情況下自動關閉爐電源。該資產還配備了多個傳感器和警告報警器,這樣操作員就可以隨時意識到任何潛在的問題。ULVAC V8-100LC擴散爐及附件型號還具有較低的隔熱損耗,可用於多種應用中而不犧牲性能。這種低熱損耗是通過使用的絕緣材料和爐體的高效設計相結合而得到的。低熱損耗還提高了運行期間的能效。V8-100LC擴散爐及輔助設備也設計方便維修保養。例如,過濾器可以快速更換和檢查,爐體可以拆分成幾節,方便取用和維護。同時,該爐系統具有較低的保溫損耗,具有抗振性能,為可重復工藝提供了可靠的效果。總而言之,ULVAC V8-100LC是半導體工業應用的理想擴散爐及附件。它提供了精確的溫度控制和調節、廣泛的安全特性以及較低的保溫損耗,以實現最高的性能效率。這種散熱爐及附件機設計廣泛,維護方便,非常適合各種退火和擴散應用。
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