二手 OXFORD 100 + #9139601 待售

OXFORD 100+是一種針對一般電子應用而設計的蝕刻器/灰化器，需要在各種氣體中進行氣相蝕刻和灰化。100+利用陶瓷加熱元件和石英管在整個腔室提供一致的溫度和均勻的氣體分布。精確的溫度控制與精確的流量控制方法相結合，允許對蝕刻或沈積參數進行最高水平的控制。OXFORD 100+的占地面積很小,為高端蝕刻和灰化應用提供了一個緊湊的解決方案。100+的設計允許對電子元件和材料進行簡單的蝕刻和粉刷。OXFORD 100+室由石英構成，保證了反應材料的高質量鈍化。石英管的設計允許氣體的均勻分布，無論基材尺寸或復雜性如何，都能提供可靠的蝕刻和灰化結果。100+還利用腔室中央的特氟隆絕緣陶瓷元件進行加熱。加熱器由外部電源供電,可提供一致的溫度進行蝕刻或灰化。OXFORD 100+還設有流量控制設備，以確保蝕刻和灰化過程的準確性。該系統由LFC（低流量控制器）和CFC（恒流控制器）組件組成，分別連接氣源和氣室。LFC允許對氣體進行精確和一致的計量，而CFC保持一致的內部腔室壓力。作為附加控制，100+可以與流量控制閥一起使用，該閥可以控制氣體的進出流量。OXFORD 100+是多類電子項目的有效蝕刻和灰化解決方案。其石英管結構和特氟龍絕緣陶瓷元件提供一致的溫度和可靠的蝕刻或灰化。該裝置的精確度由流量控制機進一步提高，確保了精確、奇異的氣體輸送和腔室壓力維護。當談到高端蝕刻和ashing時，100+是理想的選擇。