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OXFORD 100 #293824960

OXFORD

100

Reactive Ion Etcher (RIE), 2″ / 3″ / 4″ / 5″ / 6″ / 8″ / 12″ Plasma source: 13.56 MHz RF, 0–600 W Pr
132
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OXFORD 100 #293824948

OXFORD

100

RIE system.
74
OXFORD 100 + #9139601

OXFORD

100 +

RIE system, 6".
602