二手 OXFORD Plasmalab 100 #293592017 待售

OXFORD Plasmalab 100
ID: 293592017
PECVD System LGIT Does not include dry pump.
OXFORD Plasmalab 100是一種等離子體蝕刻和灰化工具,設計用於清潔和蝕刻各種材料。它是生物、微電子和半導體研發項目的高端、具有成本效益的解決方案。高強度直流等離子體蝕刻和灰化工具使用加熱,驅動火炬放電化學蝕刻和清潔材料。Plasmalab 100,一種高容量的設備,合金任何氣體組合,使其高度通用,適合加工易碎敏感的底物,如鈀和薄膜底物。系統配備了高級觸摸屏顯示屏,允許用戶調整設置以獲得所需的蝕刻結果。OXFORD Plasmalab 100提供了極好的可重復性,最大限度地減少了實現所需表面光潔度所需的後處理量。它還可以用於更復雜的等離子體蝕刻任務,如納米翅目的蝕刻、深蝕刻和淺溝。Plasmalab 100單元還具有精密劑量機,允許精細到粗糙的材料進行加工。這是由多用途且用戶友好的觸摸屏面板備份的,該面板允許用戶快速調整流程參數。OXFORD Plasmalab 100附有完整的用戶手冊和培訓視頻,幫助用戶熟悉其設置和功能。Plasmalab 100專為加工各種材料而設計,包括但不限於:(a)較硬的基材材料,如矽、陶瓷、金屬、氮化物和耐火金屬;b)塑料、玻璃和較軟金屬等耐加工材料較少;(c) TO-5、平板顯示器等薄膜材料,以及在室內具有先進工藝控制的印刷電路板。總體而言,OXFORD Plasmalab 100是一種易於使用、經濟高效、精確、高容量的等離子體蝕刻和灰化工具,易於使用且高度可靠。適用於任何需要精確可靠的等離子體蝕刻工藝的應用,留下幹凈、精確的光潔度。
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