二手 OXFORD Plasmalab 100 #293640840 待售

OXFORD Plasmalab 100是一種最先進的蝕刻器/asher，用於多種微加工應用。它是一種可以蝕刻和沈積正負光致抗蝕劑的單室工具。Plasmalab 100能夠在廣泛的應用中進行濕式和幹式蝕刻，並且具有高度精確和穩定的蝕刻環境。該工具以質量流蝕刻技術為基礎，其特點是材料去除率高而損壞低。它在廣泛的材料中提供了均勻的蝕刻，包括矽、氮化氙、SiGe和GaN化合物。OXFORD Plasmalab 100配備了無碰撞磁流體動力學（MHD）技術，使其產生近零漂移無振動蝕刻環境。無論環境如何,這都會導致均勻、高質量的蝕刻。在工藝變量方面，Plasmalab 100具有可調等離子體扳機、氣體註入、氣體旋轉流速等特點，實現了所需的蝕刻配方。此外，它有一個可編程的等離子體壓力控制器，允許一個易於適應的蝕刻過程。憑借其人性化的圖形用戶界面，OXFORD Plasmalab 100可以精確控制蝕刻壓力、直流偏壓、離子能量、比例和導數時間以及蝕刻速率。Plasmalab 100能夠以高精度和重復性將光致抗蝕劑沈積到基板表面。其多電極等離子體源可實現廣泛的蝕刻速率，並具有高達1.0 x 10-3 Torr的可變腔室壓力。Ashing process have a automatic temper features, which actured sense the ashing temperature and maintaining it without fOXFORD Plasmalab 100采用多彈跳磁場配置，用於生產用於先進薄膜圖案的抗蝕性條紋。Plasmalab 100經CE認證，符合EN 13485的要求，符合ISO 13485和QSR（GMP）標準。它還滿足RoHS、EMC和CE的要求。OXFORD Plasmalab 100具有先進的蝕刻和沈積能力以及安全性和環境合規性，是許多先進的微加工應用的理想選擇。