二手 OXFORD Plasmalab 100 #293641059 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款高度工程化、精密的蝕刻器和asher。這種多合一設備是為大學和研究設施設計的，需要半導體和微電子應用的快速周轉。該設備將等離子體源與6英寸集成在一起。蝕刻和粉碎室。該腔室的設計既能進行蝕刻操作，又能進行需要高度控制的灰化操作，以達到所需的表面質量。該裝置利用低壓感應耦合等離子體（ICP）源。這種等離子體源能夠為快速周轉提供極其清潔和均勻的等離子體環境。其電感耦合等離子體放電在產量和精度方面均表現出色。真空室采用T形布局，提供了廣泛的蝕刻和ashing選項。垂直T組件在蝕刻和灰化過程中提供高度控制。使用者可以調整等離子體放電的角度和速度，以及氣壓全氟碳（C4F8），以達到所需的表面光潔度。整個系統的構建非常註重細節,以獲得卓越的性能。單元的每一個部件都由超高純度材料構成。該腔室易於裝卸，帶有氣動驅動門，並通過集成的圖形用戶界面提供用戶友好的控制。Plasmalab 100蝕刻器和asher提供了可重復性和可靠性。其先進的熱管理機保證了統一、一致的條件，而內部管理的安全工具則以可靠、全面的安全措施保證了操作員的安全。最後，OXFORD Plasmalab 100為任何應用提供了可靠高效的蝕刻和灰化解決方案。操作簡單，精度高，可重復性強，性能優越。