二手 OXFORD Plasmalab 100 #293649326 待售

OXFORD Plasmalab 100是來自OXFORD Instruments的蝕刻和灰化設備。它是一個緊湊的、多合一的系統，非常適合用於半導體分析的樣品制備。它提供卓越的性能、靈活性和縮短的處理時間。Plasmalab 100具有簡單、用戶友好的控制界面,具有兩個獨立的處理室,可同時進行蝕刻和灰化,非常適合順序處理。可從前面板或遠程軟件輕松調整各種參數,如蝕刻和灰化壓力、溫度和氣流。該裝置能夠產生極高的蝕刻速率和最少的殘留量。雙腔並行工藝允許對多個樣品進行高效處理。機器的活動溫度範圍為-40 °C至350 °C，可以處理有機和無機材料。OXFORD Plasmalab 100還配備了內置的離子計和渦輪泵為基礎的真空工具，使長期的高真空運行成為可能。此外，該資產還配備了一系列配件，並具備多種安全功能，如過溫、過壓防護，以及低氣流預警模式。內置的數據記錄和歸檔軟件確保了可追蹤性,並為進一步分析提供了寶貴的數據。Plasmalab 100是在半導體分析中多種應用的理想工具，如樣品制備、MEMS器件、沈積蝕刻、表面清潔、器件氧化物蝕刻等。該設備為各種樣品分析提供了一個極好的工具，結果非常可靠。