二手 OXFORD Plasmalab 100 #293651867 待售

OXFORD Plasmalab 100是一款先進的下一代蝕刻器/asher，專為處理硬質和軟質材料而設計。這種單室設備既能用等離子體蝕刻，又能用氧基反應物氣體灰化。這款Plasmalab 100配備了直流型低壓等離子體源，以及高功率遠程等離子體源，兩者都能處理各種操作氣體。OXFORD Plasmalab 100還可以用於各類材料的非常精確的等離子體蝕刻，包括聚合物、金屬和半導體材料，使得幾乎任何蝕刻應用都能實現。Plasmalab 100具有許多優點，包括獨特的集成電卡盤，確保整個基板表面的蝕刻速率均勻，以及進料系統，使大量或小塊的樹脂顆粒能夠有效地裝入腔室。而且，OXFORD Plasmalab 100具有直觀的用戶界面，同時支持多達四種蝕刻配方，允許大規模的制造操作。此外，Plasmalab 100還配備了雙壓力雙氣體裝置，可結合各種等離子體化學材料，其特性尺寸小於10nm，實現了全行業的尖端制造工藝。機器出色的控制功能還可以確保產生可重復的結果。為了安全和環境保護，OXFORD Plasmalab 100提供了許多安全功能，包括自動安全閥、消防安全、氣體關閉和短路保護系統。此外,Plasmalab 100為用戶提供了多種監視和控制功能以及數據記錄功能,所有這些功能使用戶能夠充分利用此蝕刻器/asher啟用的復雜蝕刻和灰化過程。