二手 OXFORD Plasmalab 100 #293666727 待售

OXFORD Plasmalab 100（或簡稱P100）是一種先進的等離子體蝕刻器或asher，用於等離子體蝕刻和加工。它是一個全自動的，6軸機器人臂系統，使用計算機控制的等離子體處理從基板或晶片上蝕刻、剖面或去除材料。P100有一個真空室和位於大型機械臂組件中的消耗品。真空室的設計是為了最大程度地均勻性和最小停留時間的材料被加工。該腔室采用壓力密封，以防止任何汙染，並在等離子體加工過程中保持低程度的離子汙染。這樣可確保各種應用程序始終獲得高質量的蝕刻結果。P100具有高分辨率CCD攝像頭和高精度電容耦合等離子體（CCP）蝕刻功能,可減少交叉汙染的發生並確保產品的最高質量。腔室可以加壓或抽空，這取決於所使用的過程。機器人手臂組件采用高強度合金制成，並采用類似金剛石的塗層，以確保P100的長壽命和延長使用時間。P100由四個不同的組件組成：主控制器、遠程控制臺、顯示器和光學閱讀器。通過13英寸觸摸屏液晶屏操作的主控制器允許用戶輸入進程參數和控制參數。遠程控制臺是一個單獨的顯示器,用於運行Etch Tables,以便快速輕松地控制流程。顯示器使用戶能夠檢查過程進度，而光學閱讀器確保晶圓位置準確一致。這對於創造一致的結果至關重要。P100還具有多種安全功能，包括緊急停止按鈕、腔室通風按鈕和報警系統。這些特點是確保沒有任何東西被過度處理，並且該過程的有害程度低。總體而言，Plasmalab 100是一種先進的機器人等離子體蝕刻器和asher系統，能夠以合理的成本實現精確的結果。它為用戶提供了可靠、安全和自動化的蝕刻工藝，並且能夠以絕對的精確度定位晶片，使其在各種應用中用途極為廣泛。